Perfluorobutadiene halvledarprocessmaterial
JÄMFÖRPRIS: USD 9999 / Ton
Min.Order |
JÄMFÖRPRIS |
100 Ton |
USD 9999 / Ton |
Produkt introduktion Perfluorobutadiene (C4F6) är en slags färglös, luktfri och vattenolöslig gas. Dess smältpunkt är 132,0 ℃, kokpunkten är 5,9 ℃. Perfluorobutadiene är ett slags konjugerade olefiner som innehåller sex fluoratomer och två...
Kina Perfluorobutadiene halvledarprocessmaterial Leverantörer
Perfluorobutadiene är ett slags konjugerade olefiner som innehåller sex fluoratomer och två kol-kol-dubbelbindning, som ett slags utmärkt etsningsgas, på grund av dess unika F/C-förhållande, perfluorobutadien har högre etsning, noggrannhet och aspektförhållande än de i Traditionell perfluorerad mättad fluorkol etsningsgas kan perfluorobutadien etsas mindre än 100 nm ännu smalare elektronisk krets. Dessutom har C4F6 ett högre selektivt förhållande av fotoresist och kiselnitrid än C4F8, vilket kan förbättra etsningsstabiliteten, etsningshastigheten och enhetligheten och därmed förbättra produktkvaliteten.